某半导集成块生产精加工厂在晶圆精加工过程中中,动用硅烷确定硅外延性种植,废气排放洗衣塔生成高质量浓度含硅电镀焦化废水。电镀焦化废水存在pH下跌大(2-11)、硅成分高的性能,传统意义净化处理技巧易有硅垢网络堵塞,网络响应过慢或许卡死故障 。
废水处理工艺组成及来历
废渣最主要材质为:
融掉性硅酸盐
:SiO₂盐浓度达1000-1500mg/L
氢阳极氧化钾/氢阳极氧化钠
:洗洁塔酸碱性洗洁液残留物
科粒硅
:微米级SiO₂胶体溶液
痕量砷
:原材残渣携带
外理鑫霖环保程序流程
特色化利用"两极结合+膜过滤系统+化掉成果"方法:
一級结合
:用CaO上下调整pH至4-5,合成硅酸钙发展,硅快速清理率60%。
两级采和
:加Na₂CO₃将pH改善至9,进十步析出所剩硅,串连用镁剂除砷。
超滤膜软件
:0.02μm陶瓷厂家膜过滤系统nm级硅顆粒,通量稳固在80LMH。
MVR汽化器
:萃取高盐化工废水,结晶体出Na₂SO₄副护肤品,水循环率超90%。
终结效率
总硅从1500mg/L调至5mg/L如下
砷量从0.8mg/L降为0.01mg/L
系统性无结渣操作不超2年
每月收购硝酸钠钠结晶体约800吨