该厂为85英寸晶圆会产生线配建的超注射用水系统，每天都在会产生含硅废水处理工学院艺150吨。废水处理工学院艺中虽无天价属，但硅含锌量高易水垢，且热敏电阻率需达到18MΩ·cm才循环。原来处理工学院艺时未达到新颁布实施的《电子为了满足电子时代发展的需求，工业生产水环境破坏物尾气排放物标准规定》（GB39731-2020）特点尾气排放物限制值。 焦化废水组成优点 主要的破坏物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（粒度0.1-1μm） 特异标准 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水质标准的特点 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅氧化物形式简化 加工处理加工过程 特色化采取"梯级膜离心分离+电去阳离子"团体加工： 微滤预除理 ：1μm瓷砖膜阻止大颗粒物硅，通量保证80LMH 阴离子对调不饱和树脂 ：D201大孔聚酯树脂选定性吸附物硅酸碳原子 五级RO装置 ：第1 段收回率60%，其二段选择高脱硼膜组件 EDI电去化合物 ：电压电流相对密度2A/m²，不断地除去残留正离子 红外光谱杀菌的 ：254nm分光光度计线残留量40mJ/cm² 水平难点 开发管理专业级阻硅剂（有机酸胺类组合物），减慢膜污染破坏频次3倍 EDI方案创新性流道设计的，硅清掉率增强至99.8% 优酷云硅定量检测仪（在测量面积0.1-500μg/L）达成精准脱贫有效控制 行驶成果 经3、方判断： 总硅从280mg/L减少为0.05mg/L 硼含量的从8μg/L调至0.3μg/L 软件回收利用率从原40%完善至68% 膜调换生长期变长至5年，年启动人工成本影响35%